TEG

Last-modified: 2010-08-02 (月) 17:20:52

【Test Element Group】
テグ

  • 歩留りやトランジスタの電気特性に関係のありそうなパラメータを測定するためのテストパターンをウェーハに埋め込んだものです
  • 埋め込み方は，左図のように本番のチップを何個か犠牲にする場合と，右図のようにダイシングする部分にパターンを入れる場合があります
     
    TEG.jpg